中电科电子装备集团有限公司
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网站介绍：电科装备成立于2013年，是在中国电子科技集团公司二所、四十五所、四十八所三个国家级研究所基础上组建成立的二级成员单位，属中国电子科技集团有限公司独资公司。电科装备是我国以集成电路制造装备、新型平板显示装备、光伏新能源装备和太阳能光伏产业为主的科研生产骨干单位，具备集成电路局部成套和系统集成能力以及光伏太阳能产业链整线交钥匙能力。形成了以离子注入机、平坦化装备（CMP）等为代表的微电子工艺设备研究开发与生产制造体系，涵盖材料加工、芯片制造、先进封装和测试检测等多个领域。